一种镀膜机展平辊布局结构及使用该结构的镀膜机

基本信息

申请号 CN201910026865.8 申请日 -
公开(公告)号 CN109536896A 公开(公告)日 2019-03-29
申请公布号 CN109536896A 申请公布日 2019-03-29
分类号 C23C14/24(2006.01)I; C23C14/56(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 陈清胜; 赵锐 申请(专利权)人 四川海格锐特科技有限公司
代理机构 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 代理人 邹敏菲
地址 610000 四川省成都市龙泉驿区龙泉街道翠龙街66号10层附1032号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种镀膜机展平辊布局结构,包括真空室及设置于真空室的镀膜部件,所述镀膜部件包括带材传递系统及蒸发源,所述带材传递系统包括两个绕卷轮、两个主辊及两个蒸发源;在本设备工作时,两个绕卷轮中,其中一个作为收卷轮,另一个作为放卷轮;在带材传递路径上,两个主辊位于两个绕卷轮之间,且两个主辊中,其中一个主辊与带材的其中一侧作用,另一个主辊与带材的另一侧作用;两个蒸发源均用于汽化待镀材料,且一个蒸发源与一个主辊组成一个镀膜工位;在任意镀膜工位上,通过蒸发源加热所得的气相作用于与主辊贴合的带材段上。本设备可实现材料双面镀膜,同时便于获得更厚的镀膜厚度。