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一种体声波谐振器的制备方法

基本信息

申请号 CN201911166647.0 申请日 -
公开（公告）号 CN111030628A 公开（公告）日 2020-04-17
申请公布号 CN111030628A 申请公布日 2020-04-17
分类号 H03H3/02;H03H9/02;H03H9/17 分类 基本电子电路;
发明人 于洪宇;王亮;张一;汪青;唐楚滢 申请（专利权）人 珠海镓未来科技有限公司
代理机构 北京品源专利代理有限公司 代理人 南方科技大学
地址 519000 广东省珠海市横琴新区环岛东路3000号横琴国际商务中心901-9024室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明实施例公开了一种体声波谐振器的制备方法，该方法包括：提供压电衬底，在压电衬底上进行离子注入形成具有缺陷层连接的第一衬底和第二衬底；在第一衬底上形成金属电极，并图形化金属电极形成底部电极；将具有底部电极的压电衬底一表面键合到带有预置空腔的支撑衬底上，底部电极均位于空腔内；剥离压电衬底的第二衬底；减薄第一衬底至所需厚度；于远离底部电极的第一衬底一面上形成顶部电极。克服了常规工艺中在形成底部空腔过程中对谐振器结构产生不良影响的问题和常规工艺中金属与支撑衬底键合困难的问题，降低工艺容错度，减少工艺步骤和工艺成本，保证器件工作特性。