一种去应力腐蚀机的芯片旋转装置及其设备
基本信息
| 申请号 | CN202110231609.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113035751A | 公开（公告）日 | 2021-06-25 |
| 申请公布号 | CN113035751A | 申请公布日 | 2021-06-25 |
| 分类号 | H01L21/67;H01L21/677 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 秦月明;张慧娴;赵肃 | 申请（专利权）人 | 桂林雷光科技有限公司 |
| 代理机构 | 桂林文必达专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 张学平 |
| 地址 | 541004 广西壮族自治区桂林市七星区高新区信息产业园D-08地块1#生产车间 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种去应力腐蚀机的芯片旋转装置及其设备，支撑组件的底座和多个花篮通过滑道滑动连接，支架和侧板设置在底座的两侧，转动组件的气缸壳设置在侧板上，气缸壳内滑动设置有滑动板，支撑台通过连接板和滑动板连接，转动电机设置在支撑台桑，转杆通过传动器和转动电机连接，第一气泵和第二气泵与气缸壳连通，密封板设置在连接杆上。花篮设置在滑道上，启动转动电机，传动器带动转杆转动从而可以带动芯片转动而进行腐蚀，然后交叉启动第一气缸和第二气缸带动支撑台上下移动，带动芯片在花篮中上下移动而进行更加充分的腐蚀和清洗，使得加工可以更加均匀，解决现有装置因为同心旋转会使中间部分加工不够均匀的问题。 |
