一种外延设备的气体供应方法及装置
基本信息
| 申请号 | CN202110231567.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113026098A | 公开（公告）日 | 2021-06-25 |
| 申请公布号 | CN113026098A | 申请公布日 | 2021-06-25 |
| 分类号 | C30B25/14 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 廖秋林;秦月明;赵肃 | 申请（专利权）人 | 桂林雷光科技有限公司 |
| 代理机构 | 桂林文必达专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 张学平 |
| 地址 | 541004 广西壮族自治区桂林市七星区高新区信息产业园D-08地块1#生产车间 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种外延设备的气体供应方法及装置，支撑组件的壳体、底座和控制盒连接，第一加热组件的多个第一安装板设置在壳体的第一安装槽内，第一支撑板和多个第一安装板连接，多个第一加热电阻分别设置在多个第一安装板内，第二加热组件的多个第二安装板设置在壳体的第二安装槽内，第二支撑板和多个第二安装板连接，多个第二加热电阻分别设置在多个第二安装板内。交叉设置的第一安装板和第二安装板可以形成气体流通的弯曲回路，极大地增加了加热器件和气体的接触面积，从而可以更加高效地进行加热，通过输出组件可以将气体排出，从而可以方便地对反应气进行加热，提高加热效率。 |
