含双酚A骨架结构的分子玻璃光刻胶及其制备方法和应用
基本信息
| 申请号 | CN201210156675.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103304385B | 公开（公告）日 | 2015-04-15 |
| 申请公布号 | CN103304385B | 申请公布日 | 2015-04-15 |
| 分类号 | C07C43/205(2006.01)I;C07C41/30(2006.01)I;C07C39/15(2006.01)I;C07C37/055(2006.01)I;C07C69/96(2006.01)I;C07C68/06(2006.01)I;C07C43/21(2006.01)I;C07C39/17(2006.01)I;G03F7/038(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I;G03F7/16(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 有机化学〔2〕; |
| 发明人 | 杨国强;许箭;陈力;王双青;李沙瑜 | 申请（专利权）人 | 深圳前海广宇天骥科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京智汇东方知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 康正德;范晓斌 |
| 地址 | 100190 北京市海淀区中关村北一街2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一系列基于双酚A为主体结构的分子玻璃光刻胶（I和II）及其制备。将该分子玻璃光刻胶与光酸产生剂、交联剂、光刻胶溶剂和其他添加剂复配成正性或负性光刻胶，在硅片上通过旋涂法可制得厚度均匀的光刻胶涂层。该光刻胶配方可用于248nm光刻、193nm光刻、极紫外光刻、纳米压印光刻及电子束光刻等现代光刻技术中，尤其适合使用于极紫外（EUV）光刻工艺中。 |
