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螺芴衍生物分子玻璃及其制备方法和光刻中的应用

基本信息

申请号 CN201380000139.X 申请日 -
公开（公告）号 CN104144908B 公开（公告）日 2016-02-03
申请公布号 CN104144908B 申请公布日 2016-02-03
分类号 C07C69/96(2006.01)I;C07C69/712(2006.01)I;C07C43/205(2006.01)I;C07C43/23(2006.01)I;C07C39/23(2006.01)I 分类 有机化学〔2〕;
发明人 李嫕;郝青山;陈金平;曾毅;于天君 申请（专利权）人 深圳前海广宇天骥科技有限公司
代理机构 北京正理专利代理有限公司 代理人 张文祎
地址 100190 北京市海淀区中关村东路29号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了螺芴衍生物分子玻璃，具有如下分子结构：式中：R1～R12为氢原子、羟基、甲氧基或酸敏感性取代基；取代基R1～R12可相同或不同，但同一苯环上取代基不能均为氢原子；该分子玻璃在各种极性溶剂中都具有很好的溶解性，适于制成薄膜，同时，其具有很高的玻璃化温度，适合光刻加工工艺的要求；本发明还公开了上述螺芴衍生物分子玻璃的制备方法，合成过程简单，适合工业化；本发明同时公开了以上所述分子玻璃为主体材料的光刻胶在光刻中的应用，其中外围为羟基(或部分羟基)的螺芴衍生物分子玻璃可作为负性光刻胶使用，外围羟基通过酸敏感性取代基保护(或部分保护)的分子玻璃可作为正性光刻胶使用。