以四苯基呋喃、四苯基吡咯、四苯基噻吩和五苯基吡啶为核的分子玻璃光刻胶
基本信息
| 申请号 | CN201210070713.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103304521B | 公开（公告）日 | 2015-04-15 |
| 申请公布号 | CN103304521B | 申请公布日 | 2015-04-15 |
| 分类号 | C07D307/42(2006.01)I;C07D207/333(2006.01)I;C07D333/16(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I | 分类 | 有机化学〔2〕; |
| 发明人 | 杨国强;陈力;许箭;王双青;李沙瑜 | 申请（专利权）人 | 深圳前海广宇天骥科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 尹振启 |
| 地址 | 100190 北京市海淀区中关村北一街2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了通式(I)或(II)的以四苯基呋喃、四苯基吡咯、四苯基噻吩和五苯基吡啶为核的分子玻璃，以及以上述分子玻璃作为基体成分的光刻胶组合物，其包括：选自通式(I)或(II)中的一种或多种的基体成分、光致产酸剂、有机碱和有机溶剂。本发明的光刻胶组合物为化学放大的正性光刻胶，适合在极紫外线(13.5nm)、电子束下曝光，在碱性显影液中显影。由本发明的光刻胶组合物制备的薄膜具有良好的分辨率、光敏性、粘附性，且易于保存。 |
