一种应用于光刻机上位机向下位机传输数据的方法
基本信息
| 申请号 | CN201911023344.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110765476A | 公开（公告）日 | 2020-02-07 |
| 申请公布号 | CN110765476A | 申请公布日 | 2020-02-07 |
| 分类号 | G06F21/60 | 分类 | 计算；推算；计数; |
| 发明人 | 潘锋;薛敬 | 申请（专利权）人 | 苏州悦谱半导体有限公司 |
| 代理机构 | 苏州广正知识产权代理有限公司 | 代理人 | 苏州悦谱半导体有限公司 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道1355号国际科技园内9A3-A6单元 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种应用于光刻机上位机向下位机传输数据的方法，包括以下具体步骤：步骤1：获取图形信息；步骤2：对图形数据三角化；步骤3：栅格化并裁剪三角化后图形；步骤4：按顺序组装数据包；步骤5：设置最佳的发送数据包数；步骤6：发送数据；步骤7：发生数据是否成功；步骤8：数据发送结束。通过上述方式，本发明提供的应用于光刻机上位机向下位机传输数据的方法，解决了实际生产中数据下发出错、丢失的问题，可以满足对更小线宽，更复杂图形的要求，实现了下发不丢失数据的功能，可以保证上位机安全并完全的传输数据到下位机。 |
