一种PECVD石墨舟的清洗方法
基本信息
| 申请号 | CN202110292928.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113118158A | 公开（公告）日 | 2021-07-16 |
| 申请公布号 | CN113118158A | 申请公布日 | 2021-07-16 |
| 分类号 | B08B9/08（2006.01）I;B08B9/093（2006.01）I;F26B9/06（2006.01）I;F26B21/00（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 张敏;冯晓军;吴群峰 | 申请（专利权）人 | 安徽英发睿能科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 安徽韬越知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 范雅茜 |
| 地址 | 239300安徽省滁州市天长市经济开发区经六路、纬三路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及石墨舟领域，具体地说，涉及一种PECVD石墨舟的清洗方法。其包括以下步骤：将石墨舟进行拆卸，将拆卸的部件放入清洗槽中，向清洗槽中倒入纯水和清洗液，然后放入石墨舟，加入去离子液，用于浸泡石墨舟，并进行鼓泡，将清洗后的石墨舟放入至烘干箱中，加热烘干，将石墨舟进行组合安装，该PECVD石墨舟的清洗方法中通过将石墨舟整体进行拆卸后再进行石墨舟的清洗，有利于改善石墨舟的清洗效果，进而提高石墨舟的制程良品率。 |
