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一种裸芯片表面缺陷智能检测系统

基本信息

申请号 CN202120121632.9 申请日 -
公开（公告）号 CN214794502U 公开（公告）日 2021-11-19
申请公布号 CN214794502U 申请公布日 2021-11-19
分类号 G01N21/88（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 杜林;圣冬冬;王海涛;楼建设;游君;刘港港 申请（专利权）人 上海精密计量测试研究所
代理机构 上海航天局专利中心 代理人 余岢
地址 201109上海市闵行区元江路3888号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种裸芯片表面缺陷智能检测系统，包括相机、镜头、升降支架、检测工作台和计算机；裸芯片放置在检测工作台上，检测工作台通过导轨进行前后和左右移动；镜头安装在相机前端，用于对采集的裸芯片图像进行放大，镜头位于检测工作台正上方；相机安装在升降支架上，通过升降支架进行上下移动，调整相机与裸芯片之间的距离；计算机与相机通过网线连接，将相机采集的裸芯片图像进行处理，并通过检测模型对裸芯片图像进行识别，判断裸芯片是否存在缺陷，当裸芯片存在缺陷时，计算机通过连接的报警器进行报警。本实用新型有效避免了漏检情况的发生，大幅提升了缺陷识别检测效率，降低了人工劳动强度。