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氮化镓微波功率器件结温测定方法

基本信息

申请号 CN201910613866.2 申请日 -
公开（公告）号 CN110333432B 公开（公告）日 2021-08-31
申请公布号 CN110333432B 申请公布日 2021-08-31
分类号 G01R31/26;G06F30/23 分类 测量；测试;
发明人 杜林;孔泽斌;楼建设;冯琦;李晓彤;狄陆祺 申请（专利权）人 上海精密计量测试研究所
代理机构 上海航天局专利中心 代理人 余岢
地址 201109 上海市闵行区元江路3888号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种氮化镓微波功率器件结温测定方法，包括如下步骤：S1、计算氮化镓微波功率管的管芯热分布；S2、器件衬底和管壳温度校准；S3、利用微区拉曼法进行氮化镓层温度测量；S4、利用热反射成像法进行栅极金属温度测量；S5、利用有限元分析方法分层计算氮化镓层的最高结温和三维温度分布。本发明可以获取氮化镓微波功率器件的工作状态下的最高结温位置点、沟道温度分布和三维温度分布。通过仿真和实验测量数据结合的方法可以校验测试的数据有效性，最大可能避免因意外因素产生的测量误差和真实结温外推误差，采用上下边界条件来计算拟合氮化镓器件的结温，具有更准确的结温的有益效果。