一种全α相钽涂层的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110517827.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113235060A | 公开（公告）日 | 2021-08-10 |
| 申请公布号 | CN113235060A | 申请公布日 | 2021-08-10 |
| 分类号 | C23C14/35（2006.01）I;C23C14/16（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 陈汉宾;李忠盛;吴护林;丛大龙;黄安畏;杨九州;陈大军;李立;张昭林;付扬帆 | 申请（专利权）人 | 中国兵器装备集团第五九研究所有限公司 |
| 代理机构 | 重庆晶智汇知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 李靖 |
| 地址 | 400039重庆市九龙坡区渝州路33号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种全α相钽涂层的制备方法，以钽作为溅射靶材，基体材料加热后，在氩气形成的0.6~0.95MPa工作压力下，用霍尔电源对基体材料表面进行轰击，然后调节基体材料正对靶材，加入直流溅射电流14~25A，待靶材起弧稳定后，在基体表面加入直流偏压40~80V，偏电流为60~90A。通过本发明方法，制备出全α相钽涂层，该涂层具有优异的耐腐蚀性能，与基体材料结合强度高、内应力低，可大幅度提高涂层的使用寿命，为工件提供长期有效的防护；该方法降低了制备成本，不采用昂贵惰性气体，也无需进行高温处理；本发明中磁控溅射温度低，适用于多种金属材料，而不降低工件性能。 |
