三氯氢硅合成尾气的回收装置及其回收方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

三氯氢硅合成尾气的回收装置及其回收方法

基本信息

申请号	CN201410534538.0	申请日	-
公开（公告）号	CN104310406A	公开（公告）日	2015-01-28
申请公布号	CN104310406A	申请公布日	2015-01-28
分类号	C01B33/107(2006.01)I;B01D50/00(2006.01)I	分类	无机化学;
发明人	沈海峰;刘松	申请（专利权）人	江西赛维LDK太阳能多晶硅有限公司
代理机构	广州三环专利代理有限公司	代理人	江西赛维LDK太阳能多晶硅有限公司
地址	338000 江西省新余市高新经济开发区赛维工业园专利办公室
法律状态	-

摘要

一种三氯氢硅合成尾气的回收装置，包括依次管道连接的除尘器、缓冲罐、压缩机、冷却器、加热器、反应器、存渣罐及回收罐，三氯氢硅合成尾气经过除尘器进行除尘后得到三氯氢硅混合气体后进入缓冲罐缓冲压力，进入压缩机加压后进入冷却器，得到氯硅烷液体和氢气混合气体，氢气混合气体进入加热器中加热后进入反应器中反应得到三氯氢硅混合物，进入存渣罐中杂质沉淀后进入回收罐中回收。本发明提供的三氯氢硅合成尾气的回收装置通过设置冷却器及反应器，将三氯氢硅合成尾气中的氯硅烷成分及氢气混合气体通过冷却分离，通入反应器中进行化学反应得到三氯氢硅，使得三氯氢硅合成尾气作为原料能够再次用于工艺生产，节约能源，减少生产成本且保护环境。