一种三瓣石墨坩埚单晶炉
基本信息
| 申请号 | CN201010504404.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102115909A | 公开（公告）日 | 2011-07-06 |
| 申请公布号 | CN102115909A | 申请公布日 | 2011-07-06 |
| 分类号 | C30B15/10(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 钟小平 | 申请（专利权）人 | 浙江舒奇蒙能源科技有限公司 |
| 代理机构 | 杭州杭诚专利事务所有限公司 | 代理人 | 尉伟敏 |
| 地址 | 311227 浙江省杭州市萧山区南阳经济开发区浙江舒奇蒙能源科技有限公司 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种新型三瓣石墨坩埚单晶炉，包括炉壳、保温层、石英坩埚、石墨坩埚、加热器和保温桶，石墨坩埚的里面设置石英坩埚，石墨坩埚的外面设置加热器，加热器的外面设置保温层，所述石墨坩埚三瓣侧壁间拼缝与径向成40度-45度斜角。解决了现有石墨坩埚之间的拼缝是径向的，这样的拼缝不严密时，拼缝间隙处热辐射容易射入，直接给石英坩埚加热，坩埚内受热不均匀，造成单晶旋转性缺陷，影响晶体品质的问题。 |
