一种新型三瓣石墨坩埚单晶炉
基本信息
申请号 | CN201020558035.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN201801634U | 公开(公告)日 | 2011-04-20 |
申请公布号 | CN201801634U | 申请公布日 | 2011-04-20 |
分类号 | C30B15/10(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 钟小平 | 申请(专利权)人 | 浙江舒奇蒙能源科技有限公司 |
代理机构 | 杭州杭诚专利事务所有限公司 | 代理人 | 尉伟敏 |
地址 | 311227 浙江省杭州市萧山区南阳经济开发区浙江舒奇蒙能源科技有限公司 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种新型三瓣石墨坩埚单晶炉,包括炉壳、保温层、石英坩埚、石墨坩埚、加热器和保温桶,石墨坩埚的里面设置石英坩埚,石墨坩埚的外面设置加热器,加热器的外面设置保温层,所述石墨坩埚三瓣侧壁间拼缝与径向成40度-45度斜角。解决了现有石墨坩埚之间的拼缝是径向的,这样的拼缝不严密时,拼缝间隙处热辐射容易射入,直接给石英坩埚加热,坩埚内受热不均匀,造成单晶旋转性缺陷,影响晶体品质的问题。 |
