高热效单晶炉
基本信息
申请号 | CN201020558027.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN201801633U | 公开(公告)日 | 2011-04-20 |
申请公布号 | CN201801633U | 申请公布日 | 2011-04-20 |
分类号 | C30B15/00(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 钟小平 | 申请(专利权)人 | 浙江舒奇蒙能源科技有限公司 |
代理机构 | 杭州杭诚专利事务所有限公司 | 代理人 | 尉伟敏 |
地址 | 311227 浙江省杭州市萧山区南阳经济开发区浙江舒奇蒙能源科技有限公司 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种高热效单晶炉,包括炉壳、石英坩埚、石墨坩埚、加热器和保温桶,所述加热器上方设有上反射板,加热器下方设有下反射板,上反射板和下反射板为圆环形,上反射板圆环外侧固定于保温桶内侧,下反射板圆环外侧固定于加热器基座内侧,上反射板与加热器上沿垂直间隙为15mm-20mm,下反射板与加热器下沿垂直间隙为15mm-20mm。解决了现有单晶炉采用热辐射的方式对坩埚进行加热,但加热器上、下沿处无阻挡,热量容易损失的问题。 |
