一种热蒸发镀膜机
基本信息
| 申请号 | CN201720290585.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206635398U | 公开（公告）日 | 2017-11-14 |
| 申请公布号 | CN206635398U | 申请公布日 | 2017-11-14 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 崔海波;李剑辉;张坚 | 申请（专利权）人 | 成都南光机器有限公司 |
| 代理机构 | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 | 代理人 | 成都南光机器有限公司 |
| 地址 | 610000 四川省成都市龙泉驿区星光西路115号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型记载了一种热蒸发镀膜机，包括机架，机架内设置有真空室，真空室上罩设有钟罩，真空室的上方转动设置有转台，转台的台边均匀设置有多个基片架，所述机架上设置有翻转基片架的拨动装置，基片架上还设置有限制基片架翻转的限位装置。将待镀膜的基片卡设在基片架上，真空室内被加热的靶材蒸发后沉降在基片表面，待基片的第一面镀膜完成后，启动拨动装置，在拨动装置的作用下基片架开始翻转，待翻转到合适位置时，限位装置将对翻转基片架进行限位，提高了翻转系统的结构稳定性。与此同时，采用拨动装置使得基片架的翻转更为灵活可靠。 |
