一种利用超音速火焰喷涂技术制备耐腐绝缘掩膜版的方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种利用超音速火焰喷涂技术制备耐腐绝缘掩膜版的方法

基本信息

申请号	CN202010299903.X	申请日	-
公开（公告）号	CN111534781B	公开（公告）日	2021-09-24
申请公布号	CN111534781B	申请公布日	2021-09-24
分类号	C23C4/129;C23C4/04;C23C14/04	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	钱超;余洋	申请（专利权）人	南京深光科技有限公司
代理机构	南京天华专利代理有限责任公司	代理人	徐冬涛;竞存
地址	211100 江苏省南京市江宁区燕湖路189号（江宁开发区）
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种利用超音速火焰喷涂技术制备耐腐绝缘掩膜版的方法，将掩膜版置于无水乙醇中超声震荡清洗20‑30min后烘干，用超音速火焰喷涂设备将复合粉体对掩膜版表面进行喷涂，在掩膜版表面沉积一层耐腐绝缘层，超音速火焰喷涂采用压缩空气‑丙烷火焰，超音速火焰喷涂的工艺参数为：压缩空气总压力0.8‑1.2MPa，丙烷压力0.1‑0.2MPa，喷涂送料速度50‑100g/min，喷涂距离160‑200mm，喷涂角度为45‑90°，超音速火焰喷涂后的掩膜版于50‑80℃下热烘1‑5h，再自然冷却至室温即可，利用本发明方法处理后的掩膜版具有优良的绝缘和耐腐蚀性能，经过处理，可以有效延长掩膜版的使用寿命，降低OLED显示屏幕生产中的成本。