一种电子束辐照增强装置及其使用方法
基本信息
| 申请号 | CN202110144628.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114284124A | 公开（公告）日 | 2022-04-05 |
| 申请公布号 | CN114284124A | 申请公布日 | 2022-04-05 |
| 分类号 | H01J37/065（2006.01）I;H01J37/09（2006.01）I;H01J37/10（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 唐志宏;谷胜栋 | 申请（专利权）人 | 湖州超群电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海云沪专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 郑义红 |
| 地址 | 313000浙江省湖州市红丰路1366号5幢1206-11 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种电子束辐照增强装置，包括电子束源和样品，所述样品位于电子束源的下方，所述电子束源包括固定壳，且固定壳的顶部外壁开设有第一固定孔，所述第一固定孔的内壁设置有阴极，所述固定壳的底端外壁开设有第二固定孔，且第二固定孔的内壁设置有阳极。本发明通过设置有直线型电子传输通道、直线型屏蔽罩、电场、第一电极、第二电极、波浪型电子传输通道和波浪型屏蔽罩，通过上述部件之间的一个或者多个组合使用能够以通过改变电子的传输方向和增加电子的产额来提高对样品的轰击效果，相对于现有技术来说，显著提高电子利用效率，使产生的电子物尽其用，操作简单，成本较低，减少了电子的浪费。 |
