一种基于LED阵列的数字投影无掩模曝光装置及方法
基本信息
| 申请号 | CN202011003373.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112083632A | 公开（公告）日 | 2020-12-15 |
| 申请公布号 | CN112083632A | 申请公布日 | 2020-12-15 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 陈乃奇 | 申请（专利权）人 | 深圳市先地图像科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市友邦专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 深圳市先地图像科技有限公司 |
| 地址 | 518000广东省深圳市宝安区航城街道三围社区航空路西湾智园A3栋1层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及无掩膜光学制造技术领域，具体是一种基于LED阵列的数字投影无掩模曝光装置及方法，所述基于LED阵列的数字投影无掩模曝光装置包括：LED阵列，其包括驱动器和发光二极管，多个所述发光二极管阵列形成LED阵列，所述驱动器分别控制每个发光二极管；光学组件，其使LED阵列的出射光聚焦于成像面，实现对成像面上感光材料表面的曝光，并形成图像。本发明的有益效果是：一个LED阵列共用一个光学组件，具有更高的投影像素密度，更均匀的图像质量，以及极低的像素成本；LED阵列具有自发光特性，无需外部光源，并消除了反射部件，因此光路简单，光能量利用率更高。 |
