一种无掩膜极坐标旋转扫描曝光成像装置
基本信息
| 申请号 | CN201821602375.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208689363U | 公开（公告）日 | 2019-04-02 |
| 申请公布号 | CN208689363U | 申请公布日 | 2019-04-02 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 陈乃奇 | 申请（专利权）人 | 深圳市先地图像科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 518000 广东省深圳市宝安区西乡街道宝源路宝安互联网产业基地A区二栋一楼106 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种无掩膜极坐标旋转扫描曝光成像装置，包括底座，所述底座上端安装有安装圆台，安装圆台上端设有环形阵列分布的晶圆，底座上端安装有横梁，横梁上安装有CCD，横梁上端卡设有滑台，滑台侧边设有阵列分布的激光器。本实用新型无掩膜极坐标旋转扫描曝光成像装置，晶圆的光刻，取消掩膜版制作环节，直接刻画在晶圆上，图形精度高、质量好、速度快、扫描连续，稳定性高，减少了制作工序，实现成本的优化。 |
