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一种离子注入机的质量分析器清理机构

基本信息

申请号 CN202021118839.2 申请日 -
公开（公告）号 CN212209417U 公开（公告）日 2020-12-22
申请公布号 CN212209417U 申请公布日 2020-12-22
分类号 H01J37/32(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 王作义;马洪文;魏关成;高万智;杨虎;陈小铎 申请（专利权）人 广奕电子科技（宁波）有限公司
代理机构 北京卫智畅科专利代理事务所（普通合伙） 代理人 陈佳
地址 315336浙江省宁波市杭州湾新区兴慈一路290号2号楼203-10室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种离子注入机的质量分析器清理机构，包括底座，所述底座的顶部固定连接有扇形均匀场磁铁本体，所述底座的右侧设置有动力机构，所述动力机构包括粘合在扇形均匀场磁铁本体底部的空心管，所述空心管的内腔转动连接有转动柱。本实用新型通过动力机构的驱动，在转动板和壳体的配合使用下，使得三角刮板和毛刷对扇形均匀场磁铁本体表面所吸附的杂质进行刮动，即可达到自动清理和清理效果好的目的，解决了在实际的使用过程中，由于扇形均匀场磁铁的磁性，其表面常会吸附有大量的灰尘杂质，若不对其表面的灰尘杂质进行及时清理，将会影响质量分析器的使用，继而影响离子注入机正常使用的问题。