一种激光刻蚀装置、方法及系统
基本信息
| 申请号 | CN202110792100.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113547205A | 公开（公告）日 | 2021-10-26 |
| 申请公布号 | CN113547205A | 申请公布日 | 2021-10-26 |
| 分类号 | B23K26/06（2014.01）I;B23K26/067（2006.01）I;B23K26/362（2014.01）I;B23K26/70（2014.01）I | 分类 | 机床；不包含在其他类目中的金属加工; |
| 发明人 | 王祥;李善基;朱建 | 申请（专利权）人 | 深圳铭创智能装备有限公司 |
| 代理机构 | 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人 | 熊永强 |
| 地址 | 518000广东省深圳市宝安区福海街道和平社区永和路45号（金丰智汇谷）F栋 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种激光刻蚀装置，包括激光器、扩束镜，分光元件，扫描振镜和聚焦镜，分光元件用于将所述激光束分光为第一激光束、第二激光束和第三激光束；所述装置还包括加工平台，所述加工平台包括承物台和旋转组件；所述承物台用于承载固定刻蚀标的元件，且所述第一激光束、第二激光束和第三激光束分别对应所述刻蚀标的元件的正面、侧面和背面；所述旋转组件用于驱动所述承物台在所述承物台所处平面内旋转；所述装置还包括控制器，所述控制器与所述激光器、所述扫描振镜、所述旋转组件电连接。本申请还相应提供了一种激光刻蚀方法和激光刻蚀系统，能够在mini LED显示面板的正面、侧面和背面上精确地刻蚀线路。 |
