多晶硅定向凝固复合装置
基本信息
申请号 | CN201821928233.8 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN209338699U | 公开(公告)日 | 2019-09-03 |
申请公布号 | CN209338699U | 申请公布日 | 2019-09-03 |
分类号 | C30B29/06(2006.01)I; C30B28/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 羊实; 周旭 | 申请(专利权)人 | 江苏斯力康科技有限公司 |
代理机构 | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 江苏斯力康科技有限公司 |
地址 | 224000 江苏省盐城市大丰区大丰港经济区中央大道1号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了多晶硅定向凝固复合装置,包括基板,所述基板上设有复合保护套筒,复合保护套筒内用于容纳放置筒形石墨模具;所述复合保护套筒包括底板、若干曲面侧板和限位环,底板上表面沿周向设有安装槽,安装槽内设有橡胶密封垫,若干曲面侧板的轴向底端过渡配合嵌入安装槽内固定,且任意相邻的两个曲面侧板的轴向侧边相互密封契合使整体呈圆筒形结构,若干曲面侧板构成的圆筒形结构顶部可拆卸套设限位环进行固定;底板上设有冷却盘,冷却盘用于与石墨模具的底部接触。本实用新型提供的定向凝固复合装置极易方便拆装复合保护套筒,方便对复合保护套筒进行清除杂质、检修操作。 |
