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用于单晶硅定向凝固生长的坩埚

基本信息

申请号 CN201821909279.5 申请日 -
公开（公告）号 CN209323032U 公开（公告）日 2019-08-30
申请公布号 CN209323032U 申请公布日 2019-08-30
分类号 C30B11/00（2006.01）I; C30B29/06（2006.01）I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 羊实; 庹开正 申请（专利权）人 江苏斯力康科技有限公司
代理机构 成都行之专利代理事务所（普通合伙） 代理人 江苏斯力康科技有限公司
地址 224000 江苏省盐城市大丰区大丰港经济区中央大道1号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了用于单晶硅定向凝固生长的坩埚，包括第一坩埚和第二坩埚，所述第二坩埚套设在第一坩埚内，第二坩埚内底部设有籽晶；所述第二坩埚的外径小于第一坩埚的内径，在第一坩埚和第二坩埚之间的环形腔室内设有石墨保温织套，所述石墨保温织套呈轴向两端敞口的筒状结构，石墨保温织套的轴向一端通过连接件固定在环形腔室的顶端、轴向另一端在重力作用下自然垂挂在环形腔室底部，且石墨保温织套的轴向底端设有配重环，配重环的内壁与第二坩埚的外壁接触，配重环的外壁与第一坩埚的内壁接触。本实用新型具有良好的保温效果，利于在定向凝固过程中获得高质量的单晶硅产品。