一种等离子体源以及镀膜机
基本信息
| 申请号 | CN201710054054.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106847661B | 公开（公告）日 | 2018-11-20 |
| 申请公布号 | CN106847661B | 申请公布日 | 2018-11-20 |
| 分类号 | H01J37/08;H01J37/32 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张诚;陈亮 | 申请（专利权）人 | 三河市衡岳真空设备有限公司 |
| 代理机构 | 北京汉昊知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 北京丹华科技发展有限公司;三河市衡岳真空设备有限公司 |
| 地址 | 100080 北京市海淀区知春路51号慎昌大厦5层5409室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种等离子体源，该等离子体源包括：壳体；等离子体生成室，设置在壳体内，用于提供等离子体的生成区域；气体供给装置，与等离子体生成室连接，用于向等离子体生成室中供给工艺气体；电极，设置在等离子体生成室外靠近等离子体生成室的位置，用于电离工艺气体以生成等离子体；第一磁体和第二磁体，用于在等离子体生成室内生成磁场，第一磁体和第二磁体分别设置在等离子体生成室外靠近其侧壁和底面；栅网结构，设置在等离子体生成室的开口处，用于拉出离子以及对离子加速；射频电源，与电极连接，用于向电极提供射频电。本发明还提供了一种镀膜机。实施本发明可以有效提高等离子体的离化效率以及对离子能量进行控制。 |
