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真空状态下靶材厚度的检测方法

基本信息

申请号	CN201811307206.3	申请日	-
公开（公告）号	CN109470131A	公开（公告）日	2019-03-15
申请公布号	CN109470131A	申请公布日	2019-03-15
分类号	G01B7/06（2006.01）I; C23C14/35（2006.01）I	分类	测量；测试;
发明人	张诚	申请（专利权）人	三河市衡岳真空设备有限公司
代理机构	北京元合联合知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	李非非;杨兴宇
地址	065200 河北省廊坊市三河市燕郊高新区全景工业园三期33E
法律状态	-

摘要

本发明提供了一种真空状态下靶材厚度的检测方法，该检测方法包括：制定自检溅射工艺，其中溅射功率和工艺气体压强被设置为固定值；溅射设备和靶材首次配合使用时，启动溅射设备执行自检溅射工艺对靶材进行溅射直至靶材被击穿，记录执行过程中电压电流参数和靶材的厚度之间的对应关系，若靶材是导电靶材则电压电流参数是溅射电压和/或溅射电流，若靶材是不导电靶材则电压电流参数是射频溅射工艺产生的直流偏压；在溅射设备和靶材再次配合使用的过程中，当需要对靶材的厚度进行检测时启动溅射设备执行自检溅射工艺，在获得稳定的电压电流参数后根据电压电流参数和对应关系确定靶材的厚度。实施本发明可以在真空状态下快速准确地检测出靶材的厚度。