高频感应加热蒸发装置
基本信息
| 申请号 | CN201710803689.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107400860B | 公开（公告）日 | 2017-11-28 |
| 申请公布号 | CN107400860B | 申请公布日 | 2017-11-28 |
| 分类号 | C23C14/26(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 东野斯阳;张诚;陈亮 | 申请（专利权）人 | 三河市衡岳真空设备有限公司 |
| 代理机构 | 北京汉昊知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 冯谱 |
| 地址 | 065201河北省廊坊市三河市燕郊高新区河北兴远有色金属材料有限公司用地南侧、区间路东侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种高频感应加热蒸发装置，包括：多个坩埚、坩埚支架、感应线圈、移动机构以及密封机构；多个坩埚，用于盛放镀膜材料；坩埚支架，用于对多个坩埚进行支撑；移动机构，用于驱动多个坩埚中的目标坩埚移动使目标坩埚进入所述感应线圈内；感应线圈，用于通过通入高频电流对目标坩埚内的镀膜材料进行加热蒸发；密封机构，用于在移动机构和真空室之间形成密封。本发明所提供的高频感应加热蒸发装置的优点在于：(1)镀膜材料装载量大、装载种类多；(2)蒸发源位置固定从而使得膜厚具有良好的一致性；(3)可以根据实际需求增减坩埚数量，布局方便、定制化程度高；(4)增加坩埚数量的同时不需要额外增加加热系统，节约成本。 |
