一种新型曝光系统

基本信息

申请号 CN201621178137.7 申请日 -
公开(公告)号 CN206378687U 公开(公告)日 2017-08-04
申请公布号 CN206378687U 申请公布日 2017-08-04
分类号 G03F7/20(2006.01)I 分类 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕;
发明人 何忠亮;朱争鸣;叶文 申请(专利权)人 深圳市柯士达光电有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 518125 广东省深圳市宝安区沙井新桥新发工业区三排七栋
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种新型曝光系统,其特征为使用了新型PIN钉对位装置和自动退板装置。PIN钉为固定在光罩工具上的T形钉,自动退板装置,其特征在于由顶板设施、控制系统与安装有PIN钉对位装置的光罩工具组成;顶板设施安装在光罩工具及被曝光件之间,由控制系统控制完成上顶或下缩动作,可将被曝光物件从定位装置顶起或放下。该曝光系统用于PCB、LCD、触摸屏等领域,可有效解决曝光机使用过程中产生的对位偏移、PIN钉对位时退板困难等问题,可大大提升生产效率和产品质量。