一种新型曝光系统
基本信息
申请号 | CN201621178137.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN206378687U | 公开(公告)日 | 2017-08-04 |
申请公布号 | CN206378687U | 申请公布日 | 2017-08-04 |
分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕; |
发明人 | 何忠亮;朱争鸣;叶文 | 申请(专利权)人 | 深圳市柯士达光电有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 518125 广东省深圳市宝安区沙井新桥新发工业区三排七栋 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种新型曝光系统,其特征为使用了新型PIN钉对位装置和自动退板装置。PIN钉为固定在光罩工具上的T形钉,自动退板装置,其特征在于由顶板设施、控制系统与安装有PIN钉对位装置的光罩工具组成;顶板设施安装在光罩工具及被曝光件之间,由控制系统控制完成上顶或下缩动作,可将被曝光物件从定位装置顶起或放下。该曝光系统用于PCB、LCD、触摸屏等领域,可有效解决曝光机使用过程中产生的对位偏移、PIN钉对位时退板困难等问题,可大大提升生产效率和产品质量。 |
