一种曝光系统杂散光过滤装置
基本信息
申请号 | CN201621178136.2 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN206378686U | 公开(公告)日 | 2017-08-04 |
申请公布号 | CN206378686U | 申请公布日 | 2017-08-04 |
分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕; |
发明人 | 何忠亮;朱争鸣;叶文 | 申请(专利权)人 | 深圳市柯士达光电有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 518125 广东省深圳市宝安区沙井新桥新发工业区三排七栋 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种用于曝光系统光源的杂散光过滤装置,其特征在于:在LED光源的光路方向上,有复数层开孔直径略大于LED芯片之间的挡光板,可以过滤掉不需使用的大角度光线,且相邻的开孔不会相互干扰光路。该系统用于PCB、LCD、触摸屏等领域曝光设备中,具有成本低廉,解析度高等优势。 |
