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一种石英罩小孔盖板组件

基本信息

申请号 CN202020061593.3 申请日 -
公开（公告）号 CN211645444U 公开（公告）日 2020-10-09
申请公布号 CN211645444U 申请公布日 2020-10-09
分类号 C30B25/12(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 陈浩;何文俊;冯永平;孙铁成 申请（专利权）人 南京国盛电子有限公司
代理机构 南京苏高专利商标事务所（普通合伙） 代理人 南京国盛电子有限公司
地址 210000江苏省南京市江宁经济技术开发区正方中路166号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型专利提供了一种新型结构的石英罩小孔盖板组件，包括石英罩及小孔盖板，小孔盖板包括板体，该板体具有两面的光滑表面，其中一个表面突出有两个平行设置的长方体定位块，该两个定位块均位于小孔内，且两个定位孔之间的板体部分作为激光对接部位；激光对接部位的厚度为较薄的板体的厚度，而不像现有技术中是较厚的凸台的厚度，故本技术方案可以有效的避免定位激光因为小盖板结构的不合理引起的光线发散，导致激光定位仪不能收到反馈信号影响基座定位的缺陷。种新型小盖板结构在激光对接部位的厚度更薄，减弱了对硅外延反应时气体的吸力，其表面发生淀积的能力极大地降低。