一种硅外延设备加热系统运行状态监测装置及监测方法
基本信息
| 申请号 | CN202010362091.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111524837A | 公开（公告）日 | 2020-08-11 |
| 申请公布号 | CN111524837A | 申请公布日 | 2020-08-11 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;G05B19/414(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 肖健;袁夫通;宋占洋;冯永平;徐卫东 | 申请（专利权）人 | 南京国盛电子有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 南京国盛电子有限公司 |
| 地址 | 210000江苏省南京市江宁经济技术开发区正方中路166号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了硅外延设备加热系统运行状态监测装置及监测方法，该监测装置包含：外延设备机台、电流互感器、电流信号采集器、控制信号采集器、PLC装置、运算显示装置和报警指示装置。外延机台加热灯管由可控硅驱动，电流信号采集装置采集灯管两端电流信号传送到PLC内，与控制信号采集装置采集的信号进行运算比对，若超过控制阈值则进行报警提示，实现对加热灯管的完好情况的在线监测，发现问题及时报警，提高外延设备的效率。 |
