一种桶式外延炉基座旋转同心度监控装置
基本信息
| 申请号 | CN202021552729.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212659531U | 公开（公告）日 | 2021-03-05 |
| 申请公布号 | CN212659531U | 申请公布日 | 2021-03-05 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 肖健;任凯;肖战武;黄健 | 申请（专利权）人 | 南京国盛电子有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 张弛 |
| 地址 | 210000江苏省南京市江宁经济技术开发区正方中路166号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种桶式外延炉基座旋转同心度监控装置，包括：桶式基座，用于装载硅片；同心度监控装置，用于实时监控桶式基座旋转同心度是否为允许范围，如旋转同心度偏差超出了允许范围即报警。本实用新型可解决桶式基座旋转同心度的量化监控和及时控制，防范了因基座旋转同心度变化导致硅片厚度均匀性异常报废。 |
