一种软性吸盘装置
基本信息
| 申请号 | CN202020062321.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211812264U | 公开（公告）日 | 2020-10-30 |
| 申请公布号 | CN211812264U | 申请公布日 | 2020-10-30 |
| 分类号 | B65G47/91(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 王伏意;肖健;陈浩;孙铁成 | 申请（专利权）人 | 南京国盛电子有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 南京国盛电子有限公司 |
| 地址 | 210000江苏省南京市江宁经济技术开发区正方中路166号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种软性吸盘装置，包括底板、围绕底板下表面并与贴合的软性密封环，所述软性密封环与底板之间围成一个容腔；底板上具有与容腔连通的抽气孔；吸盘装置与外延片接触后，软性密封环与外延片边缘充分接触，整体上形成密闭空间，通过容腔上的抽气孔抽气，形成负压，实现装取片。软性密封环与外延片边缘接触不会对外延片接触部分造成压痕、压伤的现象，有效提升了外延片良率。同时，采用软性密封环上的燕尾槽与燕尾连接件的连接方式，使软性密封环磨损后可以拆卸替换，而不需要造成整体吸盘装置的报废。 |
