一种基于螺栓自定位的膜厚监测系统

基本信息

申请号 CN201710429919.6 申请日 -
公开(公告)号 CN107144249B 公开(公告)日 2019-07-30
申请公布号 CN107144249B 申请公布日 2019-07-30
分类号 G01B21/08(2006.01)I; G05D5/03(2006.01)I; B29C55/12(2006.01)I; B29L7/00(2006.01)N 分类 测量;测试;
发明人 陈利红 申请(专利权)人 浙江凯利新材料股份有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 312030 浙江省绍兴市柯桥街道柯东高新技术园区镜水路889号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种基于螺栓自定位的膜厚监测系统,其包括采集单元、计算单元、判识单元、调节单元和数据输出单元,计算单元基于采集单元采集的厚度曲线数据计算曲线各点厚度值和各螺栓位置,判识单元检索和识别待处理螺栓,在调节单元对待处理螺栓进行温度调节后比较调节前后膜厚零偏差点的移动,并根据移动量对各螺栓估计位置进行调整。本发明通过选定一组螺栓进行厚度调节和反馈判识,实现对薄膜厚度的实时有效监测,准确的螺栓自定位为膜厚控制提供了依据,且自定位过程的调节动作量小。