一种用于半导体制造装置的流量计
基本信息
| 申请号 | CN201921722434.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210893302U | 公开（公告）日 | 2020-06-30 |
| 申请公布号 | CN210893302U | 申请公布日 | 2020-06-30 |
| 分类号 | G01F15/18(2006.01)I;G01F15/06(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 杉时夫 | 申请（专利权）人 | 东京计装（漳州）仪表有限公司 |
| 代理机构 | 北京立成智业专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 张江涵 |
| 地址 | 363000福建省漳州市金峰开发区北斗福星工业厂房14号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于半导体制造装置的流量计，包括主体，所述主体的前端外表面设置有箱门，所述箱门的下端设置有可替换标签，所述可替换标签的上端设置有警报装置，所述可替换标签与警报装置之间设置有控制面板，所述主体的上端外表面设置有顶板。本实用新型所述的一种用于半导体制造装置的流量计，设有防反光装置与防渗漏装置，在流量计使用时，可通过装置内部设置的遮光板，将流量计上方的太阳光遮挡住，防止太阳光对流量计造成反光，有利于使用者的观察，还可以在流量计安装时，将防渗漏装置通过安装槽快速安装在接口处，防止接口处出现渗漏，有利于流量计的使用，带来更好的使用前景。 |
