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一种基于晶体炉的托盘升降机构

基本信息

申请号 CN202120224289.0 申请日 -
公开（公告）号 CN214881935U 公开（公告）日 2021-11-26
申请公布号 CN214881935U 申请公布日 2021-11-26
分类号 C30B35/00（2006.01）I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 郑建生;吴明森;邵治宇;方筱燕 申请（专利权）人 露笑新能源技术有限公司
代理机构 杭州仁杰专利代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 郑新军
地址 311800浙江省绍兴市诸暨市陶朱街道展诚大道8号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及晶体炉技术领域，公开了一种基于晶体炉的托盘升降机构，包括设在炉体内的托盘，托盘的底部固定有主轴，炉体的底面设有通孔，主轴穿过通孔伸出炉体外，主轴的外侧位于炉体底面的下侧设有导向套，导向套的上端设有法兰，法兰与炉体的底面固定连接，法兰的上端面与炉体的底面之间设有端面密封圈，炉体的底面下侧固定有升降组件，升降组件上设有升降座，升降座上固定有与主轴连接的连接座，通孔的上端固定有防尘挡圈，防尘挡圈套设在主轴上，防尘挡圈与主轴之间设有密封环，导向套与主轴之间设有滑套。本实用新型能够自动调节托盘的高度以满足不同的工艺对温场的位置需求，调节方便，有效提高晶体炉的使用性能。