一种晶圆片及其制作方法

基本信息

申请号 CN201911216929.7 申请日 -
公开(公告)号 CN111081680A 公开(公告)日 2020-04-28
申请公布号 CN111081680A 申请公布日 2020-04-28
分类号 H01L23/544;H01L27/15 分类 基本电气元件;
发明人 冯克耀;石杜娟;徐凯;俞宽;张书豪;蔡家豪;张家豪 申请(专利权)人 安徽三安光电有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 241000 安徽省芜湖市经济技术开发区东梁路8号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明属于半导体领域,尤其涉及一种晶圆片及其制作方法,其中晶圆片包括:衬底,具有相对的第一表面和第二表面;发光元件,位于衬底的第一表面上;标记元件,位于衬底的第一表面上,与发光元件通过衬底连接并间隔分布;其中,所述标记元件的厚度大于发光元件。本发明中当对衬底的第二表面施加压力时,标记元件用于支撑发光元件,防止发光元件被损伤。