一种等离子蚀刻设备
基本信息
| 申请号 | CN202120501055.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214429787U | 公开（公告）日 | 2021-10-19 |
| 申请公布号 | CN214429787U | 申请公布日 | 2021-10-19 |
| 分类号 | H05K3/06（2006.01）I;H01J37/32（2006.01）I | 分类 | 其他类目不包含的电技术; |
| 发明人 | 赵义党;李志强;李志华;廖文晗;贝亮 | 申请（专利权）人 | 珠海恒格微电子装备有限公司 |
| 代理机构 | 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人 | 卢泽明 |
| 地址 | 519000广东省珠海市横琴新区宝华路6号105室-63474（集中办公区） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及电路板加工设备技术领域，尤其涉及一种等离子蚀刻设备，包括：基座；蚀刻腔，设置在基座上，用于容置电路板，并且蚀刻腔的一端敞开；门板，设置在蚀刻腔上敞开的一端，门板的一侧或两侧设置有限位杆；支架，设置在基座上，设置有与限位杆相配合的限位孔；本实用新型的门板能够沿腰孔的轴线方向移动，而腰孔的下端朝向靠近蚀刻腔的方向倾斜延伸，进而保证门板在移动过程中的准确性和稳定性，即门板可以在下降过程中朝向靠近蚀刻腔的方向移动进而压紧以封闭甚至密封蚀刻腔，避免发生泄漏的问题而影响蚀刻的质量和车间的生产环境。 |
