首页/ 珠海恒格微电子装备有限公司/ 专利详情

一种用于微波蚀刻设备的测温机构

基本信息

申请号 CN202123298985.5 申请日 -
公开（公告）号 CN216669049U 公开（公告）日 2022-06-03
申请公布号 CN216669049U 申请公布日 2022-06-03
分类号 G01K11/00（2006.01）I;G01K1/08（2021.01）I;G01K1/14（2021.01）I 分类 测量；测试;
发明人 李志强;廖文晗;赵义党 申请（专利权）人 珠海恒格微电子装备有限公司
代理机构 广州三环专利商标代理有限公司 代理人 -
地址 519000广东省珠海市横琴新区宝华路6号105室-63474（集中办公区）
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供的用于微波蚀刻设备的测温机构，微波蚀刻设备包括送料机构与蚀刻设备，送料机构的出料口对接于蚀刻设备的进料口，测温机构包括测温传感器与固定件，固定件包括依次布置的第一回转部、第二回转部与第三回转部，第一回转部与第三回转部的外径均大于第二回转部的外径，测温传感器抵接于第一回转部，第三回转部可拆卸地固定连接于蚀刻设备的顶板；测温传感器的探测部穿过固定件的内腔，内腔连通蚀刻设备的容纳腔。电路板进入容纳腔以进行蚀刻，测温传感器的探测部插入于固定件的内腔，内腔连通蚀刻设备的容纳腔，测温传感器对容纳腔内的蚀刻温度进行实时监测，当蚀刻温度不处于预设范围内时，可及时发出警报，防止出现蚀刻不良品。