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微波等离子体发生装置

基本信息

申请号 CN202120501309.4 申请日 -
公开（公告）号 CN214429764U 公开（公告）日 2021-10-19
申请公布号 CN214429764U 申请公布日 2021-10-19
分类号 H05H1/46（2006.01）I 分类 其他类目不包含的电技术;
发明人 赵义党;李志强;李志华;廖文晗;贝亮 申请（专利权）人 珠海恒格微电子装备有限公司
代理机构 广州三环专利商标代理有限公司 代理人 卢泽明
地址 519000广东省珠海市横琴新区宝华路6号105室-63474（集中办公区）
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及电路板加工设备技术领域，尤其涉及一种微波等离子体发生装置，包括：等离子腔，连接有第一冷却组件以及气体通入组件，所述等离子腔的下端开设有输出口；微波导入腔，设置在所述等离子腔的上端，并且所述等离子腔和所述微波导入腔之间通过石英板隔开，所述微波导入腔连接有第二冷却组件，本实用新型的微波等离子体发生装置在的等离子腔的上端设置微波导入腔，并且微波导入腔和等离子腔之间通过石英板隔开，等离子腔连接第一冷却组件，微波导入腔连接第二冷却组件，保证整个等离子体发生装置的散热效果，从而延长装置的使用寿命，并且该装置长时间使用后仍可以均匀地产生等离子体，保证蚀刻的质量和效率。