一种除胶设备
基本信息
申请号 | CN202123299186.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN216670502U | 公开(公告)日 | 2022-06-03 |
申请公布号 | CN216670502U | 申请公布日 | 2022-06-03 |
分类号 | G03F7/42(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I | 分类 | 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕; |
发明人 | 李志强;廖文晗;赵义党 | 申请(专利权)人 | 珠海恒格微电子装备有限公司 |
代理机构 | 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人 | - |
地址 | 519000广东省珠海市横琴新区宝华路6号105室-63474(集中办公区) | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提供的除胶设备包括除胶反应机构与基架,除胶反应机构布置于基架内,除胶设备包括滑动组件,滑动组件包括滑轨、滑块、连接件与弹性件,连接件包括第一横板、第二横板与竖板,弹性件的一端抵接于第二横板,弹性件的另一端抵接于除胶反应机构;沿竖直方向投影于水平方向,第一横板的面积小于第二横板的面积。当需进行反应腔维护工作时,维护人员只需轻抬除胶反应机构,即可使除胶反应机构与反应腔相互分离,并可沿滑轨移动除胶反应机构以使其移离反应腔的上方,除胶反应机构不再对维护工作造成妨碍,维护人员可进行反应腔的维护工作,因此,无需进行现有技术中的除胶反应机构拆除工序,提高使用便利性。 |
