一种1-3型压电单晶复合材料制备方法

基本信息

申请号 CN202111552975.1 申请日 -
公开(公告)号 CN114311351A 公开(公告)日 2022-04-12
申请公布号 CN114311351A 申请公布日 2022-04-12
分类号 B28D5/04(2006.01)I;H01L41/338(2013.01)I 分类 加工水泥、黏土或石料;
发明人 汪跃群;李伟;高亮 申请(专利权)人 杭州瑞声海洋仪器有限公司
代理机构 杭州九洲专利事务所有限公司 代理人 陈继亮
地址 311499浙江省杭州市西湖区留下街道屏峰715号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种1‑3型压电单晶复合材料制备方法,属于电子元器件制造技术领域。该方法由单晶的多线切割工艺、灌注工艺以及后续的脱模加工、印制电极等工艺过程组成。本方法发明的双面多线切割工艺,充分发挥了线切割小应力、接近常温切割的特点,实现对极化后的压电单晶进行高精度切割,制备的压电单晶复合材料无明显退极化,能够充分发挥单晶复合材料的高性能;避免了单晶切割容易崩瓷、断裂等不利影响。适合1‑3型压电单晶复合材料的制备,与传统刀片式切割制备工艺相比,具有明显的技术优势。