一种1-3型压电单晶复合材料制备方法
基本信息
申请号 | CN202111552975.1 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN114311351A | 公开(公告)日 | 2022-04-12 |
申请公布号 | CN114311351A | 申请公布日 | 2022-04-12 |
分类号 | B28D5/04(2006.01)I;H01L41/338(2013.01)I | 分类 | 加工水泥、黏土或石料; |
发明人 | 汪跃群;李伟;高亮 | 申请(专利权)人 | 杭州瑞声海洋仪器有限公司 |
代理机构 | 杭州九洲专利事务所有限公司 | 代理人 | 陈继亮 |
地址 | 311499浙江省杭州市西湖区留下街道屏峰715号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种1‑3型压电单晶复合材料制备方法,属于电子元器件制造技术领域。该方法由单晶的多线切割工艺、灌注工艺以及后续的脱模加工、印制电极等工艺过程组成。本方法发明的双面多线切割工艺,充分发挥了线切割小应力、接近常温切割的特点,实现对极化后的压电单晶进行高精度切割,制备的压电单晶复合材料无明显退极化,能够充分发挥单晶复合材料的高性能;避免了单晶切割容易崩瓷、断裂等不利影响。适合1‑3型压电单晶复合材料的制备,与传统刀片式切割制备工艺相比,具有明显的技术优势。 |
