一种避免晶圆镀膜时中间变形的支架工装及工作方法
基本信息
| 申请号 | CN202010187763.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111267017B | 公开（公告）日 | 2022-05-13 |
| 申请公布号 | CN111267017B | 申请公布日 | 2022-05-13 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I;B25B11/00（2006.01）I | 分类 | 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手; |
| 发明人 | 王林;李菲 | 申请（专利权）人 | 华天慧创科技（西安）有限公司 |
| 代理机构 | 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 710018陕西省西安市经济技术开发区凤城五路123号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种避免晶圆镀膜时中间变形的支架工装及工作方法，本发明将上吸盘吸附在晶圆的上表面，通过侧吸盘对上吸盘施加水平拉力，使晶圆将被拉平，在镀膜时晶圆将不会再下沉，由此可以消除晶圆下沉带来的一系列不良状况。本发明能够解决晶圆镀膜时因重力造成的下沉问题，能够减小或消除晶圆镀膜后的翘曲，翘曲减小或消除为后续工艺的顺利进行提供方便。重力造成的下沉解决，能够增强镀膜质量。 |
