一种防污膜镀膜装置及镀膜方法
基本信息
| 申请号 | CN202210452597.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114622169A | 公开（公告）日 | 2022-06-14 |
| 申请公布号 | CN114622169A | 申请公布日 | 2022-06-14 |
| 分类号 | C23C14/30（2006.01）I;C23C14/56（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 崔户丹;王鹏涛;张景涛 | 申请（专利权）人 | 华天慧创科技（西安）有限公司 |
| 代理机构 | 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 710018陕西省西安市经济技术开发区凤城五路123号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于光学薄膜技术领域，具体公开了一种防污膜镀膜装置及镀膜方法，包括腔体，腔体内部设有坩埚、石墨盒和加热装置；坩埚内设有凹槽，凹槽内设有石墨盒；石墨盒内设有防污膜药丸，石墨盒顶部设有出气孔；坩埚外部设有加热装置。具体包括以下步骤：将防污膜药丸放置在石墨盒中；将石墨盒放在坩埚的凹槽中；将装有石墨盒的坩埚进行真空处理；通过加热装置加热石墨盒，石墨盒受热使防污膜药丸上的防污膜药液从出气孔中蒸发出来，从而将防污膜镀到产品上。本发明通过石墨盒和上方设置的出气孔，同时通过加热石墨盒间接加热内部的防污膜药丸，可以使防污膜药水均匀稳定排出，防污膜药丸利用率更高。 |
