硬质合金表面沉积CVD金刚石膜的梯度法预处理工艺
基本信息
| 申请号 | CN200810019557.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN100543177C | 公开（公告）日 | 2009-09-23 |
| 申请公布号 | CN100543177C | 申请公布日 | 2009-09-23 |
| 分类号 | C23C16/02(2006.01)I;C23C16/27(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 左敦稳;卢文壮;徐锋;黎向锋;杨春;任卫涛;袁佳晶;黄铭敏;吴小军;蒋艳;王珉 | 申请（专利权）人 | 江苏扬标石油机械有限公司 |
| 代理机构 | 南京天华专利代理有限责任公司 | 代理人 | 瞿网兰 |
| 地址 | 210016江苏省南京市御道街29号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明针对目前的现有的硬质合金表面沉积CVD金刚石膜预处理工艺中棱边和尖角上脱Co的速度比面上脱Co的速度快，造成棱边和尖角处强度降低，影响产品的性能，甚至还会造成棱边和尖角蚀损等问题，发明了一种硬质合金表面沉积CVD金刚石膜的梯度法预处理工艺，它的主要工艺流程为：抛光(1)→清洗(2)→刻蚀WC(3)→清洗(4)→第一次刻蚀Co(5)→清洗(6)→干燥(7)→涂胶(8)→第二次刻蚀Co(9)→清洗(10)→溶胶(11)→植晶(12)，尤其是其中的涂胶工艺保证了硬质合金表面预处理后满足CVD金刚石膜的沉积需求，同时使得硬质合金产品棱边和尖角脱Co量与面上的脱Co量基本一致，保证了棱边和尖角处强度，提高了CVD金刚石膜的性能。 |
