一种晶圆用烘干装置
基本信息
| 申请号 | CN201811624512.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109663723B | 公开（公告）日 | 2021-10-08 |
| 申请公布号 | CN109663723B | 申请公布日 | 2021-10-08 |
| 分类号 | B05D3/04 | 分类 | 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕; |
| 发明人 | 黄晓波;罗云红 | 申请（专利权）人 | 安徽龙芯微科技有限公司 |
| 代理机构 | 重庆强大凯创专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王攀 |
| 地址 | 243000 安徽省马鞍山市郑蒲港新区蒲建标准化厂房3# | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及芯片加工领域，具体公开了一种晶圆用烘干装置，包括烘干箱，烘干箱内设有湿度传感器、驱动机构和放置机构，放置机构包括多个放置单元，驱动机构的下方设有可间歇拨动放置单元移动的拨动组件，拨动组件由湿度传感器控制。本技术方案解决了现有的烘干装置在对光刻后的晶圆进行烘干时存在的烘干速度慢和烘干不均匀的问题。 |
