半导体晶圆芯片筛选设备
基本信息
| 申请号 | CN202210401027.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114472129B | 公开（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申请公布号 | CN114472129B | 申请公布日 | 2022-07-01 |
| 分类号 | B07B1/08（2006.01）I;B07B1/28（2006.01）I;B07B1/46（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 将固体从固体中分离；分选; |
| 发明人 | 冯艾诚;李健儿;冯永;胡仲波;蒋红全;周建余 | 申请（专利权）人 | 四川上特科技有限公司 |
| 代理机构 | 成都诚中致达专利代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 629201四川省遂宁市射洪县河东大道88号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及半导体芯片制备技术，公开一种半导体晶圆芯片筛选设备，包括：螺旋输送槽，其投影呈圆环状，高一端的上方为进料位，低一端用于出料；第一旋转机构，位于螺旋输送槽中心，并设于下座，其输出轴竖向朝上设置；筛选机构，有多个，呈圆周间隔设置，包括筛网篮，筛网篮通过连接件连接到连接板，连接板连接于第一旋转机构输出轴周侧，连接板上设有振动马达，用于对筛网篮进行振动；其中，螺旋输送槽位于筛网篮转动轨迹的下方，且螺旋输送槽宽度大于筛网篮外径。本发明可替代人工筛选方式，实现自动化流水式筛选及流水式接料输送，提高筛选效果和该环节的处理效率。 |
