一种晶圆玻璃粉擦除装置
基本信息
| 申请号 | CN202210365972.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114446840B | 公开（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申请公布号 | CN114446840B | 申请公布日 | 2022-07-01 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;B08B1/02（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 冯永;胡仲波;冯艾诚;李健儿;蒋红全;周建余 | 申请（专利权）人 | 四川上特科技有限公司 |
| 代理机构 | 成都诚中致达专利代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 629201四川省遂宁市射洪县河东大道88号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供一种晶圆玻璃粉擦除装置，属于制造半导体的设备领域，装置包括：存纸筒、取纸机构、夹持机构以及旋转吸盘。存纸筒用于堆叠存放滤纸。取纸机构包括吸纸管，用于取出存纸筒内的滤纸，吸纸管沿竖直方向升降。夹持机构包括防尘罩，防尘罩内部设有相对移动的两块夹板，用于压紧对折后的滤纸，防尘罩沿水平方向移动设置，存纸筒位于防尘罩移动方向的一端下方。旋转吸盘用于固定晶圆，并使晶圆旋转，旋转吸盘设于防尘罩移动方向的另一端下方。有较高的工作效率，可保证晶圆各处的擦除效果一致，同时可避免粉尘污染。 |
