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张力检测装置及原子层沉积设备

基本信息

申请号 CN202020682211.9 申请日 -
公开（公告）号 CN212355909U 公开（公告）日 2021-01-15
申请公布号 CN212355909U 申请公布日 2021-01-15
分类号 B65H23/04(2006.01)I 分类 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料;
发明人 李哲峰;乌磊 申请（专利权）人 深圳市原速光电科技有限公司
代理机构 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 代理人 方昊佳
地址 518000广东省深圳市宝安区新安街道群辉路1号优创空间一号楼511-513
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种张力检测装置及原子层沉积设备，通过合理安排所述第一传送辊和两个所述第二传送辊的相对位置，也即，两所述第二传送辊设置于所述第一传送辊两侧并与所述第一传送辊平行设置；且所述第一传送辊与所述第二传送辊分别位于物料的两侧，以使所述物料在所述第一传送辊与所述第二传送辊构成的传送路径上呈弯曲状传送，产生对所述第一传送辊的压力，并通过所述第一传送辊上两端的张力传感器检测所述物料也即基材的张力，从而可以获知物料在所述张力检测装置上传送时的张力，并基于检测结果对所述物料的张力进行调节，从而可以提高原子层沉积品质。